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  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "王國雄".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="單晶矽晶圓基板"


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    不同浸泡條件之單晶矽基板化學反應層厚度分析與固定下壓力之切削深度分析
    • 機械工程系 /103/ 碩士
    • 研究生: 張子聞 指導教授: 林榮慶
    • 本文應用計算化學反應層厚度理論方法及實驗,探討受研磨液影響之不同浸泡條件的單晶矽晶圓基板化學反應層厚度及在固定下壓力下不同浸泡條件的切削深度。本研究先運用原子力顯微鏡之實驗,得出未受研磨液浸泡的單晶…
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    • 全文公開日期 2020/07/27 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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